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标准详情

GB/T 24468-2009 现行

中文名称
半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范

英文名称
Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability,availability and maintainability(RAM)

中标分类电子测量与仪器综合
ICS分类测量仪器仪表

标准分类编号 CN

发布日期 2009-10-15
实施日期 2009-12-01

作废日期 2026-05-01

被替代标准 GB/T 24468-2025

代替标准

采用标准 SEMI E10-0304

引用标准 SEMI E35;SEMI E58;SEMI E79;SEMI E116

补充修订

备注